二百七十三章 热销(3/4)

经过大量测试，兆光株式会社的工程师们得到了这台光源的详细数据。

“工作物质arf

波长（nm）193

最大重复频率（hz）2005001000

稳定脉冲能量（mj）6

稳定脉冲功率（w）123060

能量稳定性（sigma，）2

光束尺寸（fwhm，vxhmm）6x3

光束发散（fwhm，vxhmrad）2x1

脉宽（fwhm）（ns）5-105-105-10”

他们最后得到的结论就是这台光源具有“坚固设计、电晕预电离、固态电路、管道技术、激光能量监测、紧凑型准分子激光器，单相电、高可靠性、均匀光束轮廓、即时可用，无老化、全金属密封管、数十亿脉冲的超长寿命激光能量稳定、易于操作，易于集成”这些技术优点。

松目一根得知了结果之后问研发部门的负责人栗山泰三：“栗山君，我们能仿制出这台193nm波长的arf氟化氩准分子激光光源吗？”

栗山泰三摇了摇头：“目前还不行，有些技术我们也需要时间消化吸收！”

松目一根问道：“那你估计需要多长时间？”

栗山泰三默默的估算了一下说道：“最快也需要一年左右的时间，这还是一切顺利的情况下，如果中间出现问题，时间还会往后顺延！”

松目一根哀叹道：“那就太迟了，如果我们不能尽快的得到这项技术，我们会失去很多客户的，到那个时候我们就只有破产了！”

而尼康跟佳能也分别从华虹采购了一台光源，尼康跟佳能分别进行整机组装，用组装出来的光刻机进行一些技术测试。

而安装了193nm波长的arf氟化氩准分子激光光源的尼康光刻机，经过流片测试，最大精度可以达到惊人的165纳米，这是目前尼康取得的最好精度了。

尼康随即就向华虹公司发出了订单，要求订购这款光源，而不久之后佳能也同样向华虹下了二十台光源的订单！

大量的订单出现让华虹的总经理乔栋才又喜又忧，喜的是产品受到追捧热销，忧得的是产量上不去，推掉了